钛泵的性能及除气机理

钛泵的性能

（1） 极限压强：10-8帕

（2） 抽速：

钛泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关，磁场强时抽速也大，对应..抽速的阳极电压也高。常用钛泵的抽速有25升/秒、5升/秒。对于需要大抽速的场合，可用基本结构单元并联的方式使抽速达到50升/秒、100升/秒等。

（3） 启动压强：10-2帕

（4） 寿命：

a、阴极耗尽寿命

阴极钛板因溅射穿通而使泵无法使用。

b、阳极剥落寿命

阳极内沉积钛膜的厚度太大时会产生剥落，导致泵内压强的不规则强烈变化，使泵无法使用。

c、阳极吸饱寿命

阳极上吸附和溶解了大量的氦气、氢气，当达到饱和状态时泵不能再吸附气体。

在正常使用情况下，溅射离子泵的寿命可达几万小时。

除气机理

（1） 对活性气体的抽除

对N2、O2、CO和CO2等气体的排除主要靠淀积于阳极筒内壁上的钛膜的化学吸附。

（2） 对氢气的抽除

对氢气的抽除有化学吸附，也有扩散、吸收、溶解作用。

（3） 对惰性气体的抽除

对惰性气体的排除，主要靠离子“掩埋”，被电离的惰性气体的离子轰击阴极时，有以下三种情况：

a、离子直接打入阴极内，或打入阴极边缘对面的阳极板上的钛淀积层内；

b、斜射的离子切入阴极表面，离子和钛一起被掀掉而沉积在阴极板的周围或其它地方；

c、离子没有打入板内，但是从阴极得到电子而复合为中性原子，然后又反射到阳极内表面的钛膜中。

钛泵电源

钛泵的电源是高内阻电源，其空载输出电压在3~7KV间，但负载电流大时，输出电压降至400V左右。一般溅射离子泵使用5KV倍压整流电源。可以用流过钛泵阴阳极的放电电流反映所抽空间的真空度。溅射离子泵在额定电压与磁场强度下的放电电流Iion（mA）与压强P（Torr）有一定的曲线关系。所以通过离子泵电源可反映出压强的大小。

泵电源的面板上显示有：输出直流高压和钛泵放电电流等。